超聲波掃描顯微鏡的特點在于能夠的反映出聲波和微小樣品的彈性介質之間的相互作用，并對從樣品內部反饋回來的信號進行分析！圖像上（C-Scan）的每一個象素對應著從樣品內某一特定深度的一個二維空間坐標點上的信號反饋，具有良好聚焦功能的Z.A傳感器同時能夠發(fā)射和接收聲波信號。一副完整的圖像就是這樣逐點逐行對樣品掃描而成的。反射回來的超聲波被附加了一個正的或負的振幅，這樣就可以用信號傳輸的時間反映樣品的深度。用戶屏幕上的數字波形展示出接收到的反饋信息（A-Scan）。設置相應的門電路，用這種定量的時間差測量（反饋時間顯示），就可以選擇您所要觀察的樣品深度。
超聲波掃描顯微鏡在觀察案成電路和生物組織方面，顯示出比光學員微鏡還要*的特點。超聲波顯微鏡是利用超聲波來獲得集成電路和生物組織的顯微圖象的，其分濟率可與光學顯微鏡相抗衡，而且對比變更高。即使1μ線寬的線也能清晰地拍攝下來。
超聲波掃描顯微鏡的工作過程是，用千兆赫頻率的電信號激勵壓電元件而產生超聲波。用藍寶石球面透鏡使超聲波聚焦，然后照射到試樣上。從試樣反射出來的超聲波振幅通過同樣的壓電元件和檢波器再變成電信號。為了能得到完整的圖象，試樣應進行機械移動。利用透過試樣的越聲波振幅或相位也能得到透過型圖象。比光學顯微鏡的*之處就在于它能觀察集成電路金屬層下的構造，對未經染色的紅血球也能拍攝高對比度的照片。這種顯微鏡所用的超聲波頻率約為1—3千兆赫。在坦聲波透鏡初試樣之間填充適當的液體，可使波長縮短到0.5μ（相當于可見光譜的中心波長）從而提高顯微鏡的分辨率。用機械掃描型超聲波顯微籬能夠觀察到光學顯微撓無法觀察到的細微部分。
超聲波掃描顯微鏡是用聲波進行觀察的；而聲波具有各種傳播方式。一種是縱波、粒子運動和波的運動方向相平行；一種是橫放、粒子運動和波的運動方向相垂直，另一種是面聲抵它存在于彈性不同的物質界面之中。聲波在液體中的傳播方式很簡單，只是縱波傳的方式。
超聲波掃描顯微鏡的聲波傳播方式就是縱波。目前，該顯微鏡所用的液體是此不久的將來，可能采用吸收性比水更低酌液體，到那時，使用效果礙會更好。
