當(dāng)前位置:首頁 >產(chǎn)品中心>半導(dǎo)體前處理>安賽斯勻膠機(jī)/旋涂儀>HC160PE精密勻膠機(jī)
簡要描述:HC160PE精密勻膠機(jī)是一體加工成型的HDPE內(nèi)腔,耐腐蝕,易清潔;內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計(jì),有效防濺;高級PLC全自動(dòng)程序控制,可編程;
產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related Articles詳細(xì)介紹
產(chǎn)品特色
? 設(shè)計(jì)緊湊,可放置在手套箱內(nèi);
? 4.3英寸彩色觸屏控制,人機(jī)界面;
? 一體加工成型的HDPE內(nèi)腔,耐腐蝕,易清潔;內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計(jì),有效防濺;
? 高級PLC全自動(dòng)程序控制,可編程;
? 帶真空度安全互鎖檢測功能;帶蓋子安全互鎖檢測功能;
? 具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能;管路易疏通設(shè)計(jì);具有真空不足提示及保護(hù)功能,具有斷電后參數(shù)自動(dòng)保存功能。
? 不銹鋼外殼,美觀耐腐蝕;
? 帶一路自動(dòng)點(diǎn)膠接口,可升級自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng);
? 可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能;
? 配置可調(diào)基座,方便調(diào)節(jié)水平;
性能參數(shù)
? 適用晶元尺寸范圍:?5~160mm;
? 旋涂速度:100~12000rpm;轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm;
? 旋涂加速度:100-30000rpm/s;
? 最大旋涂時(shí)間:3000s;旋涂時(shí)間精度:0.1s;
? 內(nèi)腔直徑220mm,內(nèi)腔壁采用凹面防濺設(shè)計(jì);
? 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;
? 電源輸入:AC200-230V;
產(chǎn)品咨詢
郵箱:info@analysis-tech.com
地址:北京市海淀區(qū)建材城中路3號樓程遠(yuǎn)大廈B座606
官方微信
公司官網(wǎng)