當前位置:首頁 >產品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂儀>HC150PE不銹鋼勻膠機150PE
簡要描述:不銹鋼勻膠機HC150P:E可編程勻膠機,采用分體式結構設計,高分子HDPE耐腐蝕內腔,4.3英寸觸摸屏,工業(yè)級直流電機及高級PLC控制,直觀清晰的程序界面與設計,美觀大方。適合涂膠處理Ø 5~150mm圓晶尺寸基片。 不銹鋼勻膠機HC150PE:該勻膠機結構緊湊、簡單易用,可編程實現單步旋涂和多步編程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱內操作。HDPE高分子材料旋涂內腔,美觀耐腐蝕,經久耐用。
產品分類
Product Category相關文章
Related Articles詳細介紹
產品介紹:
名 稱:不銹鋼勻膠機HC150PE
型 號:HC150PE
應 用:在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
產品概述:
不銹鋼勻膠機HC150PE 可編程勻膠機,采用分體式結構設計,高分子HDPE耐腐蝕內腔,4.3英寸觸摸屏,工業(yè)級直流電機及高級PLC控制,直觀清晰的程序界面與設計,美觀大方。適合涂膠處理? 5~150mm圓晶尺寸基片。
該勻膠機結構緊湊、簡單易用,可編程實現單步旋涂和多步編程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱內操作。HDPE高分子材料旋涂內腔,美觀耐腐蝕,經久耐用。
性能參數:
適用晶元尺寸范圍:? 5~150mm;
旋涂速度:100~12000rpm;
轉速分辨率:1rpm;
旋涂加速度:100-30000rpm/s;
最大旋涂時間:3000s;
旋涂時間精度:0.1s;
內腔直徑212mm,內腔采用凹面防濺設計;
具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;
電源輸入:AC200-230
產品特點:
設計緊湊,可輕松放置在手套箱內使用;
HDPE高分子材料旋涂內腔,耐腐蝕;
采用分體式結構,易清潔和移動;
4.3英寸彩色觸屏控制,易學易用;
精確設置實驗參數,運行狀態(tài)實時顯示;
經CNC一體加工成型的HDPE內腔,內腔壁采用凹面設計,有效防濺;
采用高級PLC程序控制,可編程,實現快速旋涂和多步編程旋涂;
具有電機進膠保護功能;管路易疏通設計;
具有真空不足提示及保護功能,具有斷電后參數自動保存功能。
可設置用戶密碼保護功能;
帶真空度安全互鎖檢測功能;
帶一路自動點膠接口,可升級自動點膠系統(tǒng);
HDPE高分子耐腐蝕內腔
不同尺寸的載物盤
不銹鋼勻膠機HC150PE產品外型尺寸:
310mm(D)*254mm(W)*250mm(H)
產品咨詢
官方微信
公司官網